ASML басшысы Кристоф Фуке жасанды интеллекттің жартылай өткізгіш индустриясына әсері 10–15 жылға созылады деп есептейді: «Біз тек мұзтаудың ұшын ғана көріп отырмыз». Нидерландтық ASML – әлемдегі EUV-литографтарын өндіретін жалғыз компания, онсыз ең озық чиптерді шығару мүмкін емес.
Сұраныстың өсуі бірнеше факторларға байланысты: оптиканы жетілдіру, микросхемалардың тік орналасуына көшу және тез масштабтауға болмайтын жеткізушілердің үлкен желісі. Негізгі жақсарту – EUV айналарының апертурасының ұлғаюы: ол неғұрлым үлкен болса, пластинадағы сәуленің фокусировкасы соғұрлым дәл болады, бұл схемалардың жұқа суреттерін салуға мүмкіндік береді. Сонымен қатар, ASML микросхемалардың көбірек элементтерін тік тұрғызуды күтеді. Көпқабатты транзисторлар мен үш өлшемді құрылымдар элементтердің өлшемдерін кішірейту қиын болған кезде тығыздық пен өнімділікті арттырудың қосымша әдісін береді.
Технологияны қайта жасау өте қиын: бір EUV қондырғысы $400 млн-ға дейін тұрады, 100 000-нан астам бөлшектен тұрады және екі қабатты автобуспен салыстыруға болады. Лазер балқытылған қалайының тамшыларына соққы береді, плазма EUV жарығын шығарады, ал вакуумдағы айналар жүйесі оны пластиналарға бағыттайды. ASML шамамен 200 негізгі жеткізушімен және кеңейтілген тізбекте шамамен 2 000 фирмамен жұмыс істейді. Негізгілерінің арасында – Zeiss (оптика), Trumpf (лазерлер) және VDL (мехатроника). 2013 жылы компания Cymer лазер өндірушісін сатып алды. Жеткізу тізбегі шығару қарқынын шектейді.
Nikon және Canon, бір кездері басты бәсекелестер, қазір DUV жүйелеріне назар аударуда. Озық технологиялық процестер үшін EUV қажет, сондықтан ASML оларды Қытайға сата алмайды. Бұл елді өзінің жеткізу тізбегін құруға итермелейді; Фуке Huawei-ді Қытайдың DUV жабдықтарын әзірлеудегі маңызды қатысушы деп атады. Сонымен қатар, ASML француздық Mistral AI жасанды интеллект әзірлеушісінің 11% акциясын сатып алды.
Ұқсас мақалалар
