ASML의 수장 크리스토프 푸케는 AI가 반도체 산업에 미치는 영향이 10-15년간 지속될 것이라고 생각하며, "우리는 빙산의 일각만 보고 있다"고 말했습니다. 네덜란드의 ASML은 세계 유일의 EUV 리소그래피 장비 제조업체로, 이 장비 없이는 가장 첨단 칩을 생산할 수 없습니다.
수요 증가에는 여러 요인이 작용합니다: 광학 기술의 발전, 칩의 수직 구성으로의 전환, 그리고 빠르게 확장할 수 없는 방대한 공급망입니다. 주요 개선 사항은 EUV 거울의 개구율 증가입니다: 개구율이 클수록 웨이퍼에 빛을 더 정확하게 집중시킬 수 있어 더 얇은 회로 패턴을 그릴 수 있습니다. 동시에 ASML은 점점 더 많은 칩 요소가 수직으로 구축될 것으로 기대하고 있습니다. 다층 트랜지스터와 3D 구조는 요소 크기를 줄이는 것이 점점 더 어려워질 때 밀도와 성능을 높이는 추가 방법을 제공합니다.
이 기술을 재현하는 것은 매우 어렵습니다: 하나의 EUV 장비는 최대 4억 달러에 달하며, 10만 개 이상의 부품으로 구성되어 있으며, 2층 버스와 크기가 비슷합니다. 레이저는 녹은 주석 방울에 충격을 가하고, 플라즈마는 EUV 빛을 방출하며, 진공 상태의 거울 시스템이 이를 웨이퍼로 안내합니다. ASML은 약 200개의 주요 공급업체 및 약 2,000개의 확장된 공급망 회사와 협력하고 있습니다. 주요 업체로는 Zeiss(광학), Trumpf(레이저), VDL(메카트로닉스)가 있습니다. 2013년, 회사는 레이저 제조업체 Cymer를 인수했습니다. 공급망이 생산 속도를 제한하는 요소입니다.
한때 주요 경쟁자였던 Nikon과 Canon은 이제 DUV 시스템에 집중하고 있습니다. 첨단 공정에는 EUV가 필요하기 때문에 ASML은 이를 중국에 판매할 수 없습니다. 이는 중국이 자체 공급망을 구축하도록 촉진하고 있으며, 푸케는 Huawei가 중국의 DUV 장비 개발의 중요한 참여자라고 언급했습니다. 또한 ASML은 프랑스 AI 개발업체 Mistral AI의 주식 11%를 인수했습니다.
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