
ASML首席执行官克里斯托夫·福克认为,人工智能对半导体行业的影响将持续10至15年:“我们目前只看到了冰山一角。”荷兰的ASML是全球唯一的EUV光刻机制造商,这种设备是生产最先进芯片所必需的。
需求的增长受制于多个因素:光学技术的改进、向垂直芯片布局的过渡以及无法快速扩展的庞大供应商网络。关键改进是EUV镜面的孔径增大:孔径越大,光束在晶圆上的聚焦就越精确,从而可以绘制更精细的电路图。同时,ASML预计将有更多的芯片元件采用垂直构建。多层晶体管和三维结构提供了在缩小元件尺寸变得越来越困难时提高密度和性能的额外方法。
复制这项技术极其困难:一台EUV设备的价格高达4亿美元,由超过10万个零件组成,大小相当于一辆双层巴士。激光击打熔化的锡滴,等离子体发出EUV光,而真空中的镜面系统将其引导至晶圆。ASML与大约200家主要供应商合作,并在扩展链中与约2000家公司合作。关键供应商包括蔡司(光学)、通快(激光器)和VDL(机电一体化)。2013年,公司收购了激光器制造商Cymer。正是供应链限制了生产速度。
尼康和佳能曾是主要竞争对手,现在专注于DUV系统。先进工艺需要EUV,因此ASML无法将其出售给中国。这推动了中国建立自己的供应链;福克称华为是中国DUV设备开发的重要参与者。此外,ASML收购了法国AI开发商Mistral AI的11%股份。





